一種微電鑄金屬模具的制作要領(lǐng),包羅模具基底前處置處罰、微電鑄母模的制作、微電鑄、微電鑄后處置處罰、模具的檢測工序,其特性是：接納“無背板生長法”,無背板生長法便是通過紫外線UV照射光刻掩模板直接在鎳基板上電鑄出微布局圖形；在微電鑄母模的制作工序中,在SU-8光刻膠與基板間參加了光刻膠的種子層；在微電鑄后處置處罰工序中,接納真空退火,其制作要領(lǐng)的詳細步調(diào)如下：
      (1)模具基底前處置處罰包羅高純度鎳基板的機器加工前處置處罰和外貌洗濯,外貌洗濯接納有機溶劑除油法,有機溶劑接納丙酮和乙醇；
      (2)在微電鑄母模的制作工序中,SU-8光刻膠與種子層接納光刻技能中的套刻工藝,通過光刻膠的顯影得到自由空間；
      (3)在微電鑄工序中,將電鑄鎳金屬添補于自由空間中,微電鑄電鑄液的配方為氨基磺酸鎳：360～380g/L、氯化鎳：5～10g/L、硼酸：50～60g/L；微電鑄工藝條件為：PH值：3.5～4.0、溫度：50℃～55℃、電流密度1～2A/dm2。
      (4)在微電鑄后處置處罰工序中,先輩行真空退火處置處罰,其溫度為200～800℃、時間為60～200分鐘；再舉行精磨加工。 根據(jù)該要領(lǐng)制作的微電鑄金屬模具具有側(cè)壁垂直度、外貌光潔度好的長處,辦理基于模塑法、熱壓法的大范圍、低本錢生產(chǎn)的聚合物、塑料產(chǎn)物格量低下的題目。實用于有機聚合物、塑料的微細加工。